IGBT超音频感应退火电源的发展现状与趋势

IGBT超音频感应退火电源的电路组成框图，如上图所示。一般输出功率小于20kW的电源，采用单相交流电源供电，大于20kW的采用三相交流电源供电。由于频率的原因，一般超音频感应退火电源多采用IGBT (频率在10~lOOkHz)。

超音频感应退火电源主要使用具有自关断能力的开关器件IGBT。电路形式有电压型串联谐振式逆变器和电流型并联谐振逆变器。目前大功率IGBT的关断时间达到ns级，这使得在超音频频段(10~lOOkHz)的感应加热电源具有优良的技术指标，在中频频段(1~lOkHz)也采用了IGBT制造中频感应加热电源。目前除单管IGBT外，已批量生产一单元、二单元、四单元和六单元的IGBT标准型模块。IGBT的制造水平已达到1800A/4500V，开关频率200kHz。

随着对模块的频率和功率要求的提高，国外已开发出了一种平面式的低电感的模块结构，进而发展到把IGBT芯片、控制和驱动电路、过电压、过电流、过热和保护电路封装在同一绝缘外壳内，制作成为智能化IGBT模块。它是智能化功率模块IPM的一种，这将为电力电子逆变器的高频化、小型化、高可靠性和高性能奠定了器件基础，也为简化整机设计、降低制造成本、缩短产品化的林对间创造了条件。